▲=에서 수수팬트리로 최대주주 변경.

▲=78억원 규모 반도체 제조장비 공급 계약.

▲=196억원 규모 2차전지 공급 계약.

▲=기판 검사방법 및 기판 처리장치 국내 특허권 취득.