슬롯사이트 볼트 "中과 관계 끊으라" 지침에…세계 1위 반도체장비업체도 결국
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세계 1위 반도체장비업체 결국 中과 이별
"반도체 가격 오를것"
어플라이드머티리얼즈·램리서치·비코 등
美 슬롯사이트 볼트, 中 공급업체 배제
"슬롯사이트 볼트 산 배제 시 반도체 가격 오를 것"
中 공급업체도 날벼락…수출 대안 모색
○“슬롯사이트 볼트산 쓰면 공급업체 배제”
4일(현지시간) 월스트리트저널(WSJ)에 따르면 두 기업은 최근 자사 공급업체들에 ‘슬롯사이트 볼트산 부품을 대체하지 않으면 공급업체 지위를 잃을 수 있다’고 경고했다. 공급업체들은 투자자 및 주주 명단에도 슬롯사이트 볼트인이 있어서는 안 된다는 통보를 받았다. 뉴욕주에 있는 반도체 처리시스템 개발사 비코 역시 공급엄체에 새로운 슬롯사이트 볼트산 부품 사용을 즉시 중단하고, 내년 말까지 기존 슬롯사이트 볼트 공급업체와의 관계를 끊으라는 지침을 서면으로 보냈다.블룸버그에 따르면 AMAT는 약 70개 공급업체 중 반도체 재료회사인 장쑤요커기술, 석영 가공 기업인 장쑤퍼시픽쿼츠, 정밀기계제조업체인 쿤산킹라이하이제닉머티리얼 등에서 직접 부품·장비를 공급받고 있다. 2차 벤더 이하로 내려가면 공급망에 포함된 슬롯사이트 볼트 기업이 수십개가 넘는다. AMAT는 “부품의 대체 공급처를 파악해 공급이 가능한지 확인하고 있다”고 말했다.
이는 최첨단 반도체 및 반도체 제조장비 공급망에서 슬롯사이트 볼트의 영향력을 배제하기 위한 미 당국의 개입 결과로 해석된다. WSJ은 “미국 관료들은 미국 기업이 부품 공급을 슬롯사이트 볼트에 의존할 경우, 슬롯사이트 볼트이 위기 상황에서 미국에 대항할 수 있는 카드를 손에 쥘 수 있다고 우려하고 있다”고 전했다.
미 상무부는 지난해 자국 반도체 장비 제조업체가 슬롯사이트 볼트 공급업체에 기술 세부 사항 및 계획을 공유하려면 라이센스를 취득하도록 하는 규정을 도입했다. 반도체 장비 제조업체들에게는 내년까지 현재 공급업체를 유지할 수 있는 임시 라이센스를 부여했다. 올 여름에는 슬롯사이트 볼트 밖 공급업체도 모회사가 슬롯사이트 볼트에 있을 이러한 규정을 적용한다고 못박았다.○반도체 제조 비용 오를수도
AMAT가 공급망을 정리하면서 슬롯사이트 볼트 기업들도 곤경에 처했다. 랴오닝성에 있는 선양포춘정밀장비는 AMAT에 남품할 계획으로 올해 싱가포르 공장을 설립했으나, 아직까지 AMAT의 공급 승인을 못 받았다. 선양포춘정밀장비의 싱가포르 사업 담당자인 대니 로우 이사는 “공장의 (수출) 범위를 미국 장비제조업체를 넘어 전 세계 장비제조사로 확장하고 있다”고 전했다. 다른 슬롯사이트 볼트 부품업체들도 3국에 합작회사나 지주회사를 설립하는 등 해결책을 모색하고 있다. WSJ은 “슬롯사이트 볼트을 배제하려는 노골적인 움직임은 세계 최대 반도체 장비 시장인 슬롯사이트 볼트의 정책 입안자들을 분노하게 만들 수 있다”고 지적했다.
업계에서는 슬롯사이트 볼트산 부품 배제가 반도체 가격 상승으로 이어질 수 있다는 전망도 나온다. 비슷한 가격에 대체 부품을 찾기 어렵기 때문이다. 삼성전자 TSMC 인텔 등 파운드리 기업들이 AMAT의 최대 고객사다.
미 당국은 자국 반도체 장비 제조사의 대(對)슬롯사이트 볼트 수출 통제도 더욱 강화하고 있다. AMAT는 최근까지 수출 통제를 위반했다는 혐의로 사법당국의 조사를 받았다. 지난해 11월에는 상무부가, 지난 5월에는 메사추세츠주 지방검찰과 증권거래위원회(SEC)가 AMAT를 소환했다. 한국을 거쳐 슬롯사이트 볼트 반도체제조사 SMIC에 제조장비를 수출했다는 혐의다.올해 화웨이가 반도체 수출 통제 상황에서도 첨단 스마트폰 메이트60프로를 만들어낸 데도 SMIC, AMAT, 램리서치의 기술이 활용됐다고 블룸버그는 전했다. 지난해 회계연도1분기(2~4월) 17.0%였던 AMAT의 슬롯사이트 볼트 매출 비중은 올해 1분기 44.7%로 늘었다.
미국이 동맹국을 대상으로도 수출 통제를 더욱 강하게 압박할 것이라는 전망도 나온다. 지난 22일 세계 최대 슬롯사이트 볼트인 네덜란드 ASML의 크리스토프 푸케 최고경영자(CEO)는 “지정학적 상황을 보면 미국이 동맹국들에 더 많은 통제를 가하라고 계속 압박할 것이 분명해 보인다”라며 유럽연합(EU) 차원의 대응을 촉구했다. 네덜란드 정부는 지난 9월 ASML의 심자외선(DUV) 노광장비에 대한 수출을 규제한다고 발표했다.
김인엽 기자 inside@hankyung.com