메이저 바카라 등 적재 자동로봇 개발 .. 삼성전자

삼성전자는 반도체 웨이퍼 카셋트를 자동으로 이.적재하는 "무인자동로봇"을 개발, 자체 반도체 공정에 우선 투입키로 했다고 13일 발표했다. 이 로봇은 반도체 공정에서 가공이 끝난 웨이퍼들을 다음 공정에 자동 이송하는 장치로 그간 일본 다이후쿠사 등으로부터 전량 수입에 의존하던 품목이다. 특히 반도체 라인과 같은 고청정 환경내에서 작업할 수 있도록 설계됐으며 웨이퍼 카셋트를 이동시키는 6축로봇과 자기테이프에 의한 주행계 등으로 구성돼 있다. (메이저 바카라 1997년 6월 14일자).